TESCAN Large Volume Workflow
Kombination von FIB-Fräsen und Laserablation für die Tiefenanalyse
Effiziente Untersuchung von Proben im Millimeterbereich durch die Synergie von Plasma FIB-REM und Laserablation
Die wichtigsten Vorteile des TESCAN Large Volume Workflow
Unerreichte analytische Fähigkeiten
Nutzen Sie die Leistungsfähigkeit des industrieerprobten Plasma-FIB-SEM und des vielseitigen Lasersystems von TESCAN für ein breites Spektrum an mikrostrukturellen Diagnoseverfahren.
Probenpräparation im Kubikmillimeter-Maßstab
Effiziente Präparation großvolumiger Proben oder tiefer Querschnitte, schnell und ohne Ga Implantation.
Tiefe Einblicke in anspruchsvolle Proben
Erhalten Sie schnell und mühelos Zugang zu tief liegenden Probenregionen (ROIs-Regions of Interest), selbst in nichtleitenden, harten Materialien, mit den beschleunigten Materialabtragsraten unserer Kombination aus Laser und Plasma FIB.
Artefaktfrei
Ergebnisse
Erhalten Sie unverfälschte Querschnitte für die ultrahochauflösende Bildgebung mit a überlegene Oberflächenpoliertechnik um die feinsten Details über den gesamten Querschnitt zu erhalten.
Optimiert
Durchsatz
Minimieren Sie sowohl die Zeit bis zur Probenahme als auch die Kosten pro Probe mit Technologien, die speziell für die Entfernung großer Mengen an Material entwickelt wurden.
Benutzerfreundliche Oberfläche und Workflows
Steigern Sie Ihre Produktivität mit unserer intuitiven Software, die einen nahtlosen Betrieb sowohl von Plasma FIB-SEM- als auch von Laserablationssystemen ermöglicht.
Entdecken Sie den Large Volume Workflow.
Beschleunigen Sie die Halbleiter-Fehleranalyse im Millimeter-Maßstab mit dem TESCAN Large Volume Workflow

Profitieren Sie von der umfassenden Fehleranalyse
Effizienter Querschnitt von Proben im Millimeterbereich auf Package-Ebene (3D-ICs, TSVs, Lötkugeln, Flip-Chips usw.) für eingehende Fehleranalysen.

Proben für anspruchsvolle Anwendungen vorbereiten
Bereiten Sie Probenblöcke für hochauflösende Mikro-CT-Analysen, Atomsondentomographie und Zug- oder Druckprüfungen vor.

Anpassung an die Geometrie von Freiform-Proben
Erreichen Sie eine mikrometergenaue Freiform-Probenpräparation für spezifische Geometrien: TEM-Untersuchungen in der Ebene, H-Balken für FIB-Querschnittsanalysen oder komplexe 3D-Proben.
Haben Sie Fragen?
Sind Sie an einer virtuellen Demo interessiert?
Unser weltweites Team beantwortet gerne Fragen zu TESCAN FIB-SEMs und unseren Lösungen für die Fehleranalyse von Halbleitern und IC-Verpackungen.