Die Autoren befassen sich mit den Herausforderungen, die mit dem Zugang zu tief vergrabenen Strukturen in mikroelektronischen Bauteilen für die physikalische Fehleranalyse (PFA) verbunden sind. Herkömmliche Methoden, wie mechanisches Polieren oder Ga+ FIB-Fräsen, sind entweder zu langsam oder zu schädlich für eine großvolumige Probenvorbereitung. In diesem Beitrag wird eine Methode vorgeschlagen, die die schnellen Materialabtragsraten eines ps-Laserabtragungswerkzeugs mit der präzisen Endpunktbestimmung und den feinen Oberflächenpolierfähigkeiten eines Xe-Plasma-FIB-SEM-Systems kombiniert. Diese Methode ermöglicht eine schnelle und genaue PFA von mikroelektronischen Bauteilen sowie eine erhöhte Produktivität durch den gleichzeitigen und kontinuierlichen Betrieb beider Werkzeuge.
Die Forschung demonstriert die Effektivität der vorgeschlagenen Methode bei verschiedenen Anwendungen, wie z. B. bei der Erstellung von Querschnitten ohne Beschädigungen und Delaminationen eines mobilen AMOLED-Displays, das aus empfindlichen Materialien und komplexen Strukturen besteht. Die Erstellung von Querschnitten von Flip-Chip-Gehäusen mit unterschiedlichen Lötkugelmaterialien und -größen, die eine hochauflösende Bildgebung und Analyse erfordern, wird in diesem Beitrag ebenso behandelt wie die CAD-Navigation, Datenkorrelation und Bitmap-Überlagerungen für die Endpunktbestimmung. CAD-Navigation, Datenkorrelation und Bitmap-Overlays für die Endpunktbestimmung.
Das Papier behandelt auch verwandte Themen wie CAD-Navigation, Datenkorrelation und Bitmap-Überlagerungen für die Endpunktbestimmung. Das Papier zeigt, dass die vorgeschlagene Methode qualitativ hochwertige Querschnitte mit minimalen Artefakten und Beschädigungen erzeugen kann und Defekte wie Risse, Hohlräume, intermetallische Verbindungen und Delaminationen aufzeigen kann.
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Erfahren Sie mehr über diese faszinierende Forschung: Pairing Laser Ablation and Xe Plasma FIB-SEM: An Approach for Precise End-Pointing in Large-Scale Physical Failure Analysis in the Semiconductor Industry | ISTFA Proceedings | ASM Digital Library (asminternational.org)
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